磁控溅射自动线：ALU-2350-01
产品示意图：磁控溅射自动线
设备简介/功能
针对磁控溅射设备全自动上下料的设备，通过该整线解决方案，可实现镀膜载板的自动上下料功能。关键技术实现了：膜片无痕柔性定位、载板同步移载、载板自动回流、机器人自动上下料、载板缓存。
产品特性
1、一条线配有2台ABB6轴机械轴，实现载板在光驰机的上下线搬运动作
2、整线带有FFU系统，保证设备内部的洁净度
3、流线共设置有5个操作位，用于人工取放料
